AccuThermo AW820R 全自动立式
技术指标：
- 晶圆尺寸：支持小片、2“、3”、4“、5”、6“、 8“晶圆。
- 推荐升温速率：可编程，10°C–120°C/秒；最大 200°C/秒（不推荐）。
- 推荐恒温时间：每步 0–300 秒。
- 降温速率：1°C–200°C/秒。1000 °C-400 °C>300 °C/ 分钟，400 °C-100 °C>60 °C/分钟
- 推荐恒温温度范围：150°C–1150°C；最高 1250°C（不推荐）。
- ERP 光学高温计：400–1250°C，校准至热电偶晶圆时精度 ±1°C。
- 热电偶测温：150–840°C，精度 ±0.5°C，响应快速。
- 温度重复性：在 1150°C 晶圆间重复性 ±0.5°C 或更好（基于 100 片晶圆测试）
- 温度均匀性：在 1150°C，8“ (200 mm) 晶圆范围内 ±7°C（一西格玛偏差，100Å 氧化层）。 钛硅化工艺中，在 650–700°C 第一次退火时，非均匀性增加不超过 7%。
- 工艺气体：任意惰性或无毒气体，调压至 30 PSIG，并预过滤至 1 微米 。常用气体：N₂、O₂、Ar、He、H2/N2 or H2/Ar forming gas、NH₃、N₂O₂、纯H2等。
