产品详情
椭偏仪 Ellipsometer
椭偏仪 Ellipsometer
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应用领域: IC fab, wafer manufacturing, MEMS, LED, solar cell, photonics, nano tech.
设备特性: Gaertner 精密光学仪器具有一百多年的历史, 它的 ellipsometers 享誉全球. 有激光椭偏仪和光谱椭偏仪.
·用于精密检测各种薄膜的厚度, 包括oxide, nitride, metal oxide, ITO.
·采用四极偏振器, 无转动器件, 稳定性强, 准确率高.
·膜厚范围可自0nm 到6000nm. 可具有达12”直径自动 mapping 功能.

美国:+1 (408) 420-3561    |   北京:+86 (010) 62561331    |   上海:+86 (021) 61363596


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