产品详情
晶圆几何特性检测 Wafer Measurement Systems
晶圆几何特性检测 Wafer Measurement Systems
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应用领域: Wafer manufacturing (Si, GaAs等), IC fab, solar cell, MEMS, photonics.
设备特性: 晶圆几何特性检测设备包括从手动到全自动的系列产品.
·检测几何参数包括:Thickness, TTV, Bow, Warp, and Flatness.
·采用独特的Push/Pull电容传感测试技术,可测试GaAs、SiC、Si等半导材料.
·对普通电容传感式设备无法监测的高阻率材料,该设备都能监测.
·产品以 ASTM Specifications 为标准.

美国:+1 (408) 420-3561    |   北京:+86 (010) 62561331    |   上海:+86 (021) 61363596


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