产品详情
横式扩散炉 Horizontal Furnaces
Brand: Expertech
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应用领域:

IC fab, Solar Cell, MEMS, photonics, display.

设备特性:

Horizontal diffusion furnaces, excellent CoO.

· 提供各种扩散炉: Atmospheric, LPCVD, PECVD, 4” to 12” wafers.

· 可配置多达4层炉管. 每层独立控制. 整机结构紧奏.

· 自动控制, 自动工艺, 多种功能选择

· 优秀的性价比, excellent cost of ownership.


美国:+1 (408) 420-3561    |   北京:+86 (010) 62561331    |   上海:+86 (021) 61363596


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